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磁悬浮分子泵工作原理

它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

Shimadzu EI-D2003M岛津磁悬浮分子泵控制器输入电压单相AC200～240V，额定频率450Hz，所需电力1.2kVA，岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵有Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等

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涡轮分子泵广泛应用于需要高真空度的高能加su器、可控热核反应堆、重粒子加su器以及真空镀膜工艺等

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真空泵的作用是制造真空，其结构形式多样，有离心式、膜片（隔膜）式、活塞式、液环式、旋片式、射流式。

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